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Case Study

浮彫り研磨

フィラー入り樹脂の内部構造分析調査

フィラ―入り樹脂の表面から内部までのフィラーの配置・密着・欠陥などの様相をSEMで精密に観察・分析を行う。

断面出し研磨の課題
・断面出し研磨では樹脂の流れや移着が発生してしまう。
フィラー自体が研磨時損傷や破断を受け状態確認が難しい。
・1回の分析視野の中に3D情報があったらなお良い。

切断研磨断面SEMx5,000

必要な深さまでを斜め研磨をした。

A-A 断面形状プロファイル

PERET研磨痕の内部と表面部を拡大して比較した。

赤枠部と青枠部をそれぞれ拡大観察

① 表面x5,000

・樹脂の流れやフィラーが確認できる。
・フィラーの表面に樹脂が覆っている。
所々空孔がある。

② 内部x5,000

・フィラーがクリアに露出して見える。
・フィラーと樹脂の結合様相が見える。
・欠陥部や空孔の様相が見える。

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