PERET事例閲覧

Case Study

斜め研磨大面積研磨変質無し研磨

樹脂レンズ表面AR膜の分析事例

・メガネレンズなどの表面は反射防止（AR）用コートが施されている。
・一般的に屈折率の異なる無機膜がナノサイズで積層された多層膜となっている。
・各層や界面部をSEMで観察・分析を行う。

断面出し研磨の課題
・断面出し研磨に高度の技能が必要で作業が難しい。
・広範囲の観察評価ができない。
・超薄膜のため高倍率な観察装置が必要になる。
・各層が薄いため、高倍率観察が必要であり、測定子のスポット径以下の厚みの場合は分析できない。

SEM写真ｘ10,000

観察
・□2mmの研磨エリア内に各層が干渉縞のようにリング状に明確にみえる。
・AR部は各層の幅が表面に現れ光の干渉となって現れている。

PERET研磨痕写真

内部と表面部の比較写真

赤枠部・緑枠部・青枠部をそれぞれ拡大観察

① AR膜部 x300

・低倍率でも多層膜の様相がわかる。
・高倍率分析にすると各層の構造や界面が評価できるようになる。

② ハード/プライマー界面 x3,000

・ハードコートとプライマーの界面部が評価できる。
・界面はグラデーション状であることがわかる。
・精密な分析に繋がる。

③プライマー/基材界面 X3,000

・プライマーと樹脂基材の界面部が評価できる。
・界面はグラデーション状であることがわかる。
・精密な分析に繋がる。

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