単層の膜厚特定

  1. TiO2光学薄膜の超精密薄膜分析(強さ、均質性、強靭さの評価)

    • プロセス変質の特定
    • 硬質薄膜・硬質材料
  2. 光学無機薄膜の界面強さ、変質有無の評価

    • 劣化・変質
    • 硬質薄膜・硬質材料
  3. DLC超薄膜の強さ評価

    • 材料強度関係
    • 硬質薄膜・硬質材料