MSE試験装置の仕様

試験装置の成り立ちは、「物理エッチング(粒子エロージョン)部」と「エロージョン形状計測部」で構成されています。
試料表面から精密エロージョンし、その深さ計測を繰り返し連続取得することで、強さ比較・強さの断面分布、層毎の厚さや強さ、 面内の強弱分布などが評価できます。これまでに測ることが難しかった材料表面において、短時間で多くの情報が得られます。
加えて、粒子エロージョン法は平面でなく曲面や複雑形状物においても試験可能です。

装置仕様

試験プロセス

試験プロセス

MSE試験法の原理

MSE試験法の原理

深さデータ取得のプロセス

深さデータの取得プロセス

基本仕様
MSE試験装置

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