ユニークな特長

斜め研磨

研磨の断面形状は研磨痕2mmの端から中央部に向かって緩やかに深くなります。その斜め角度は0〜1°と低角度で、研磨された表面に断面情報が含まれています。1回の研磨面から広い範囲を対象にSEMやXPSでの深さ方向の観察・分析が可能になります。

浮彫研磨

SEM等の画像をくっきり浮き出すには界面の段差が有効になります。粒子投射研磨は材料による研磨速度違いを利用して微小なものまで浮彫状な面を創成できます。研磨面内の広いエリア内の欠陥や材質違いの分布などを精密に観察・分析が可能になります。

樹脂の変質無し研磨

投射される水が高速冷却で熱による変質の抑制と高速衝突による表面クリーン洗浄が汚れを防止、アルゴンエッチよりダメージが少ないことをXPSにて確認されています。

高分解能 10nm単位の研磨

10ナノメートル単位の制御された研磨が可能です。薄い多層膜では光の干渉縞が出るくらいに精密な観察面が作れます。もちろん斜め研磨による深さ方向観察・分析も有効になります。

断面を表面に出す研磨

精密になるほどに断面出し研磨は大変難しくなります。本研磨では各層厚さを数十倍の幅に拡大して表面にリング状に露出させます。お手持ちの低倍率観察装置が有効利用できます。

ユーザーのメリット

断面情報を表面から見ることができる

たった一回の処理でできる研摩痕で表面から深さまでの情報を取得できます。試料の表面に研摩痕をつくる方法なので難しい断面出しは必要ありません。マスキングによって表面を残し、前処理の前後を比較することも可能です。

内部の欠陥や材質違いを浮き彫りにできる

粒子投射は素材によって削れやすさが異なるため内部の欠陥や異材質の境界がくっきりと浮き彫りになります。その結果欠陥周辺の分析や、コンタミの分布を観察することができます。

形状や材質を選ばない

超薄膜、多層フィルム、微小部品、三次元形状など、さまざまな形状や材質が処理対象です。樹脂やゴムも変質無く処理することができます。

簡単な操作で専門人員が不要

超高精度の研磨ですが熟練した技能者は必要なくだれでも処理が可能です。