
カメラ撮像素子(CCD)の内部分析事例
PERETの場合 マイクロレンズ、カラーフィルター、内部レンズ、センサーが2μmピッチで配列されてい …
浮彫研磨とは、例えば発掘で埋没品を傷つけないように周りの土 をかき分けると、その埋没品の輪郭が明確になってゆくように、分析や観察をしたい微少部分の粒子や欠陥などを研磨によって見やすくすることを指します。PERETの粒子投射による研磨は、1個の粒子がノズルから噴射された瞬間より一定のエネルギー(研磨力)をもって試料表面に衝突します。衝突による研磨量は試料材料の削れにくさで決まり、削れにくい部分と削れやすい部分があれば、研磨面は段差状になります。この材料の削れにくさの差を利用して、材料に内在する粒子や欠陥などの輪郭を明確にすることで「浮彫研磨」が可能になりました。
PERETの場合 マイクロレンズ、カラーフィルター、内部レンズ、センサーが2μmピッチで配列されてい …
イオンミリングの場合 電極と誘導体(絶縁層)の界面が 観察できず、バフ研磨面においても電極と絶縁層が …
断面観察の場合 表面樹脂内のフィラー形状が繊維状なのか球状なのか判断できない。また、研磨による破損、移着か …
機械研磨の場合 樹脂がフィラーに移着し、詳細な分析が困難。また損傷も起きやすい。 PERETの場合 移着や …
機械研磨の場合 繊維と樹脂に損傷が発生する。 PERETの場合 樹脂の移着や界面での損傷が起こりにくい。 …