薄膜製造プロセスの異物分析事例
断面出しの場合
異物を残すのに高度な技術が必要とされ、実態もつかみづらい。
PERETの場合
マスキングにより容易に異物を残した断面出し研磨ができる。異物がハードコートの時すでに存在していたことなどがわかる。
異物を残すのに高度な技術が必要とされ、実態もつかみづらい。
マスキングにより容易に異物を残した断面出し研磨ができる。異物がハードコートの時すでに存在していたことなどがわかる。