斜め研磨

樹脂レンズ表面AR膜の分析事例

断面観察の場合

AR層の詳細分析をするにはx10,000が必要となる。

PERETの場合

各層の断面厚さを25倍以上に拡大でき、低倍率の分析装置で表面から観察可能。多層薄膜の各層及び界面の分析もしやすく、また加工による変質はなく、材料本来の状態で分析が可能である。


①② 各層の界面が欠陥なく 滑らかに成形されている。
③ 厚み1μm以下の薄膜も x300で観察可能。