斜め研磨

IC半導体の内部分析事例

断面観察の場合

2次元情報で奥行きが見えず、半導体 やナノメートルオーダーの回路は判断しにくい。また断面出し研磨に技能が必要で作業が難しい。

PERETの場合

電極や回路の積層が一目瞭然となる。配線などの界面部も特定しやすくなる。