透明膜の膜厚特定

  1. メガネレンズ透明膜の強さ評価

    • 基材との界面強度
    • 軟質薄膜・軟質材料
  2. TiO2光学薄膜の超精密薄膜分析(強さ、均質性、強靭さの評価)

    • プロセス変質の特定
    • 硬質薄膜・硬質材料
  3. 光学無機薄膜の界面強さ、変質有無の評価

    • 劣化・変質
    • 硬質薄膜・硬質材料