超軟質材料・薄膜

  1. Siウェハ上のLow-k膜評価

    • 材料強度関係
    • その他材料
  2. ゴム材質の強さ比較と表面変質層の調査

    • プロセス変質の特定
    • 軟質薄膜・軟質材料
  3. 樹脂・フィルムの強さ評価

    • 材料強度関係
    • 軟質薄膜・軟質材料
  4. メガネレンズ透明膜の強さ評価

    • 基材との界面強度
    • 軟質薄膜・軟質材料