• 単層の膜厚特定基材との界面強度材料強度関係機械的強度特性の内部分布機械的強度特性の比較界面関係膜厚関係
• 軟質薄膜・軟質材料

有機コーティングへの適応

• プロセス変質の特定劣化・変質単層の膜厚特定基材との界面強度材料強度関係機械的強度特性の内部分布機械的強度特性の比較界面関係脆性（靭性）内部分布脆性（靭性）比較脆性と強度のマッピング膜厚関係透明膜の膜厚特定
• 硬質薄膜・硬質材料

TiO2光学薄膜の超精密薄膜分析（強さ、均質性、強靭さの評価）

TiO2光学薄膜の超精密膜質分析光学薄膜を多角アルミナ粒子と球形シリカ粒子の２種類の粒子で試験を行うことにより、今まで以…

• 劣化・変質単層の膜厚特定基材との界面強度材料強度関係界面の変質・劣化界面関係膜厚関係透明膜の膜厚特定
• 硬質薄膜・硬質材料

光学無機薄膜の界面強さ、変質有無の評価

光学無機薄膜の内部強さ分布と変質３種類の樹脂基材上のTiO2膜を評価した事例です。基材が異なる超薄膜でもＭＳＥのエロージ…

• 単層の膜厚特定材料強度関係機械的強度特性の内部分布機械的強度特性の比較膜厚関係
• 硬質薄膜・硬質材料

DLC超薄膜の強さ評価

DLC超薄膜Ｓｉウエハ上の超薄膜の評価事例です。大変軟らかいＳｉウエハ上の硬く薄いＤＬＣ膜の強さを、基材に影響されずに評…