単層の膜厚特定
表面から基材内部までの連続したデータ取得からエロージョン率の変化点を膜厚とします。膜内部や基材表面に強さ違いがあっても可能になります。
単層の膜厚特定の試験事例
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有機コーティングへの適応
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TiO2光学薄膜の超精密薄膜分析(強さ、均質性、強靭さの評価)
TiO2光学薄膜の超精密膜質分析光学薄膜を多角アルミナ粒子と球形シリカ粒子の2種類の粒子で試験を行うことにより、今まで以…
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光学無機薄膜の界面強さ、変質有無の評価
光学無機薄膜の内部強さ分布と変質3種類の樹脂基材上のTiO2膜を評価した事例です。基材が異なる超薄膜でもMSEのエロージ…
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DLC超薄膜の強さ評価
DLC超薄膜Siウエハ上の超薄膜の評価事例です。大変軟らかいSiウエハ上の硬く薄いDLC膜の強さを、基材に影響されずに評…
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