光学薄膜を多角アルミナ粒子と球形シリカ粒子の２種類の粒子で試験を行うことにより、今まで以上に超精密な膜質の分析が可能になりました。その試験結果の概要を下記に記載いたします。

目的

１、試験粒子 多角アルミナ粒子 d50=0.3μm

高硬度超微小径多角粒子を使用。
衝突時の荷重、接触面積ともに極めて小さいため力が集中する。

試験結果エロージョン率は膜を構成する材質そのものの強さを示す。また深さ⽅向の強さ分布を超高分解能で表示する。

２、試験粒子 球形シリカ粒子 d50=1μm

低硬度 微子球粒子を使用。衝突時荷重が大きいが、接触面積も大きいため力が分散される。

試験結果エロージョン率は膜全体のマクロな強さ（脆さ）を示す（結晶粒間の結合強度、クラック、ボイドの影響を反映）。

評価

• IAD_150℃、300℃の膜は、多角粒子の試験から材質的に強く、かつ均質である。 また、球形粒子の試験から他の膜に比べて強靭であると⾔える。
• EB_150℃は、多角粒子の試験では材質的に5種類の中で最も弱く、不均質で界面近傍に弱いピークが存在。また、球形粒子の試験では、内部分布は見えないほど一気に損傷し、他の膜に比べて脆いことがわかる。
• EB_300℃とIAD 加熱無は、多角粒子の試験では材質的には基材と同じくらいの強さである。しかし、球形粒子の試験では、表面に僅かに強い部分はあるが膜全体として脆いと言える。
• 2つの試験から膜材質の強さ・均質性と膜の強靭さが浮き彫りとなる。
• 成膜法としてはIADの膜の方がEBより強い傾向がある。
• 基板温度の上昇に伴い、均質で強い膜ができる傾向がある。

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