Siウエハ上の超薄膜の評価事例です。 大変軟らかいSiウエハ上の硬く薄いDLC膜の強さを、基材に影響されずに評価することができました。
100nm以下の超硬質超薄膜を、柔らかい機材に影響されずに測れています。
エロージョン率は被膜が0.002µm/g、基材が約2.5µm/gと1000倍以上の違いがあっても計測できました。
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