透明膜の膜厚特定

光学薄膜等の透明多層膜のそれぞれの膜厚をエロージョン違いから特定します。光の二重反射による誤差や波長以下のナノレベル膜厚も可能になります。

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透明膜の膜厚特定の試験事例
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