基材との界面強度

薄膜と基材の界面の強さは製品にとって重要な項目です。表面から基材内部までのデータからエロージョン率の変化を読み取り界面の強さを特定します。薄膜または基材の強いほうをまたは弱いほうを基準にして強さを数値化します。基材表面の表面粗さが分解能に大きく影響します。

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基材との界面強度の試験事例
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