改質度合いや改質分布の数値化

表面改質には密着性向上を目的としたものなど数多くあります。そのプロセス違い・制御条件違いごとのエロージョン率分布から改質度合いや深さ分布を高分解能で比較します。

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改質度合いや改質分布の数値化の試験事例
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    • 劣化・変質改質度合いや改質分布の数値化材料強度関係機械的強度特性の内部分布機械的強度特性の比較
    • 軟質薄膜・軟質材料

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