DLC超薄膜の強さ評価

 

Siウエハ上の超薄膜の評価事例です。
大変軟らかいSiウエハ上の硬く薄いDLC膜の強さを、基材に影響されずに評価することができました。

目的

  • 硬質超薄膜の強さ特定
  • 超薄膜の膜厚の特定
  • 軟質基材上の硬質膜の計測可能能力の探索

サンプル

サンプル

基材 DLC
Siウェハ
0.7mm
PVD法
水素フリーDLC
試験結果
1、エロージョン進行グラフ

エロージョン進行グラフ

100nm以下の超硬質超薄膜を、柔らかい機材に影響されずに測れています。

2、エロージョン率分布グラフ

摩耗分布率

エロージョン率は被膜が0.002µm/g、基材が約2.5µm/gと1000倍以上の違いがあっても計測できました。

参考

参考

評価
  1. 超薄膜のエロージョン率は0.002µm/g で3つの試験部位と深さ方向共に強さはほぼ一定であることが判明
  2. 膜厚は部位によって差があり、光干渉色と一致していることが判明
  3. 強さ比が1250:1でかつ表面が硬くても界面近傍まで計測できることを確認
  4. 界面部の強さの変化を可視化

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