光学無機薄膜の界面強さ、変質有無の評価

3種類の樹脂基材上のTiO2膜を評価した事例です。
基材が異なる超薄膜でもMSEのエロージョン力をコントロールして強さの評価と分布の可視化ができました。また、薄膜コーティング時の変質と推測される弱い層が確認できました。

目的

異なる樹脂基板に同⼀の蒸着方法で作成した、単層膜内部の強さ分布の実態を調査する。

サンプル

異なる樹脂基板に
電子ビーム(EB)蒸着法で
成膜したTiO2膜

基材
TiO2 COP 33OR
COP E48R
パンライト(PC)

1、エロ―ジョン進行グラフ

2、エロ―ジョン率分布グラフ

 

評価
1. 膜質について
  • 130nmまではTiO2膜はほぼ⼀定の強さである。
  • 基材が変わると130nm〜の膜強さに若干変化がある。
2.基材について
  • ⼀定の強さになる900nmより深い部分は基材の初期状態を示す。
3. 界面および変質
  • 3種類とも膜直下の基材部に変質がある。
  • 変質度が⼤きい順にCOP 330R ⇒ パンライト⇒ COP E48R(ほぼ変質なしともいえる)
  • COP 330Rの変質は深いところまで及ぶ。
  • 膜の初期成長において、基材の変質が影響している。
  • 変質の要因としては、TiO2成膜時の高エネルギー⼊射が示唆される。

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