硬質薄膜・硬質材料

工具(エンドミル)やチップなど、硬質薄膜・硬質材料の試験事例をご紹介いたします。

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    • 単層の膜厚特定材料強度関係機械的強度特性の内部分布機械的強度特性の比較膜厚関係
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    DLC超薄膜の強さ評価

    DLC超薄膜Siウエハ上の超薄膜の評価事例です。大変軟らかいSiウエハ上の硬く薄いDLC膜の強さを、基材に影響されずに評…

    • 多層膜の膜厚特定層間の界面強度材料強度関係機械的強度特性の内部分布機械的強度特性の比較界面関係脆性(靭性)内部分布脆性(靭性)比較脆性と強度のマッピング膜厚関係
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    膜の多層構造を特定し設計値との比較から耐久性につながる膜強度を評価

    超硬チップ表面コーティングの膜質分析と耐久性評価鋳鉄加工用超硬チップ2種類AとBに対してMSE試験を2粒子試験で全層分布を取…

    • 劣化・変質単層の膜厚特定基材との界面強度材料強度関係界面の変質・劣化界面関係膜厚関係透明膜の膜厚特定
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    光学無機薄膜の界面強さ、変質有無の評価

    光学無機薄膜の内部強さ分布と変質3種類の樹脂基材上のTiO2膜を評価した事例です。基材が異なる超薄膜でもMSEのエロージ…

    • プロセス変質の特定劣化・変質単層の膜厚特定基材との界面強度材料強度関係機械的強度特性の内部分布機械的強度特性の比較界面関係脆性(靭性)内部分布脆性(靭性)比較脆性と強度のマッピング膜厚関係透明膜の膜厚特定
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    TiO2光学薄膜の超精密薄膜分析(強さ、均質性、強靭さの評価)

    TiO2光学薄膜の超精密膜質分析光学薄膜を多角アルミナ粒子と球形シリカ粒子の2種類の粒子で試験を行うことにより、今まで以…

    • 材料強度関係機械的強度特性の内部分布機械的強度特性の比較脆性(靭性)内部分布脆性(靭性)比較脆性と強度のマッピング
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    2粒子試験でみる硬質薄膜と基材の特性

    2粒子試験でみる硬質薄膜と基材の特性目的条件の異なる2つの試験から、膜および、基材の特性を評価する。サンプルサンプル名…

    • 劣化・変質基材との界面強度材料強度関係界面関係
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    多層構造の硬質薄膜の評価

    多層構造の硬質薄膜を評価した事例です。MSEで各層と基材の強さおよび界面部の強さ特定ができたことで、GD-OES元素分析と合わ…

    • 材料強度関係
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    CVD・PVD切削チップ膜及び基材の強さ評価

    2種類のCVD、4種類のPVD切削チップを評価した事例です。最表面が弱く膜内部に強弱が分布する多層膜であることが可視化でき…

    • 材料強度関係
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    DLCコートエンドミル超薄膜の強さ試験

    市販されているアルミ切削用のDLCコーティングされたエンドミルをMSE試験で分析しました。それぞれ特徴的なデータとなり、コ…