硬質薄膜・硬質材料

工具(エンドミル)やチップなど、硬質薄膜・硬質材料の試験事例をご紹介いたします。

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    • 材料強度関係機械的強度特性の内部分布機械的強度特性の比較脆性(靭性)内部分布脆性(靭性)比較脆性と強度のマッピング
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    2粒子試験でみる硬質薄膜と基材の特性

    2粒子試験でみる硬質薄膜と基材の特性目的条件の異なる2つの試験から、膜および、基材の特性を評価する。サンプルサンプル名…

    • プロセス変質の特定劣化・変質材料強度関係機械的強度特性の内部分布機械的強度特性の比較脆性(靭性)内部分布脆性(靭性)比較脆性と強度のマッピング
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    TiO2光学薄膜の超精密薄膜分析(強さ、均質性、強靭さの評価)

    TiO2光学薄膜の超精密膜質分析光学薄膜を多角アルミナ粒子と球形シリカ粒子の2種類の粒子で試験を行うことにより、今まで以…

    • 劣化・変質材料強度関係
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    光学無機薄膜の界面強さ、変質有無の評価

    光学無機薄膜の内部強さ分布と変質3種類の樹脂基材上のTiO2膜を評価した事例です。基材が異なる超薄膜でもMSEのエロージ…

    • 材料強度関係機械的強度特性の内部分布機械的強度特性の比較脆性(靭性)内部分布脆性(靭性)比較脆性と強度のマッピング
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    膜の多層構造を特定し設計値との比較から耐久性につながる膜強度を評価

    超硬チップ表面コーティングの膜質分析と耐久性評価鋳鉄加工用超硬チップ2種類AとBに対してMSE試験を2粒子試験で全層分布を取…

    • 材料強度関係機械的強度特性の内部分布機械的強度特性の比較
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    DLC超薄膜の強さ評価

    DLC超薄膜Siウエハ上の超薄膜の評価事例です。大変軟らかいSiウエハ上の硬く薄いDLC膜の強さを、基材に影響されずに評…