MSE試験の技術

MSE試験法の構成

MSE試験は材料表面を精密に粒子投射摩耗(エロージョン)する技術とエロージョン痕の断面形状を精密に計測する技術の組み合わせで構成されています。まず、一定量の粒子を投射しエロージョン痕を発生させ、次にその痕の中央断面形状を形状計測機で測ります。同じ痕の位置で一定量の粒子投射と計測を指定回数繰り返すことで深さ方向の形状プロファイルのデータ群が得られます。このデータ群を専用ソフトにてデータ処理をすることで強さ情報として取り出すことを可能にしています。

 

粒子投射摩耗部の技術

本試験の心臓部である粒子投射の概念は下図のとおりです。粒子は水に混ぜられ(スラリーという)システム内を循環していて、この流体制御がスラリーの精密なコントロールを可能にしています。投射ガンに導かれたスラリーはエアーで混合と加速が瞬時に行われ試験表面に投射されます。このとき繰り返し投射される粒子の寿命はサイズ効果(小さくなると見かけ強度が強くなり寿命が長くなる)が発生し、およそ連続8時間は使用可能になっています。

投射表面に発生する効果は下表のようになり試験を成り立たせているポイントとなっています。

 

形状計測部の技術説明

あらゆる表面粗さや形状や材質に対応するために精密な触針式形状計測機を採用しています。本機の精度は分解能1nmを実現しています。

計測器の外観
  • 計測長さ0〜7mm
  • 計測深さ±100μm
  • 長さ方向分解能1μm
  • 深さ方向分解能1nm
  • 触針子先端半径2μm
  • 触針圧力30〜500μg

※取得形状プロファイル(右に画像挿入)

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